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长泰电子气体(长泰电子气体)

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020/08/28 1:25:24 * 浏览: 1
物理和化学性质:长泰电子气体(Electronicgases):气体工业术语,半导体工业中使用的气体统称为长泰电子气体。按其类别可分为三类:纯气体,长泰高纯气体和半导体特殊材料气体。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺,高纯度气体主要用作稀释气体和载气。长泰电子气体是长泰特种气体的重要分支。根据纯度等级和使用场合,电子气可以分为电子级,LSI(大型集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(超大规模集成电路)级。